陕西蒸镀机系列-FS-G1-3

真空镀膜机镀塑料时抽真空时间过长主要原因就是：1、真空室有漏气现象：大家都知道，多弧离子镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的，若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置，则真空镀很长时间都不能抽得上来的；2、即使真空室没有漏气，因为塑料产品的放气量大，所以抽真空，溅控溅射镀膜机特别是高真空很难达到。而且由于塑料产品的放气，造成真空室内镀膜气体的不纯，有杂气的存在，造成镀膜产品的颜色发暗，发黄，发黑等。真空镀膜机操作员要穿着整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高跟鞋。陕西蒸镀机系列-FS-G1-3

真空镀膜应用属于一种干式镀膜，它的主要方法包括以下几种：1、真空蒸镀，其原理是在真空条件下，用蒸发器加热带蒸发物质，使其气化或升华，蒸发离子流直接射向基片，并在基片上沉积析出固态薄膜的技术。2、溅射镀膜，溅射镀膜是真空条件下，在阴极接上2000V高压电，激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基片上形成膜层。3、离子镀膜，即干式螺杆真空泵厂家已经介绍过的真空离子镀膜。它是在上面两种真空镀膜技术基础上发展而来的，因此兼有两者的工艺特点。在真空条件下，利用气体放电使工作气体或被蒸发物质（膜材）部分离化，并在离子轰击下，将蒸发物或其反应物沉积在基片表面。在膜的形成过程中，基片始终受到高能粒子的轰击，十分清洁。真空蒸镀机供货商真空镀膜机的观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。

真空镀膜机运用镀膜资料镀膜之前，对镀膜资料做简略的外表清洁能延伸镀膜机运用寿命，由于各种污染物不仅使真空体系不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件衔接处的强度和密封性能。真空镀膜机常见的污染物有：1、油脂包含加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；2、操作时候的手汗，吹气的时候的水汽和唾液等等；酸、碱、盐类物质清洗时的剩余物质、手汗、水中的矿物质等；还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。清洁这些污染物的意图是为了改善真空镀膜机工作稳定性，使工作能够更顺利的进行。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，真空镀膜有很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。应用较多的是蒸发和溅射两种。蒸发镀膜和磁探溅射镀膜的特点如下：一、对于蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。1、厚度均匀性主要取决于：A.基片材料与靶材的晶格匹配程度；B.基片表面温度；C.蒸发功率、速率；D.真空度；E.镀膜时间、厚度大小。2、组分均匀性：蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、成品等步骤。

蒸镀机的基本原理：（1）加热蒸发过程：包括由凝聚相转变为气相的过程，每种蒸发物质在不同的温度有不同的饱和蒸气压。（2）气态原子或分子在蒸发源与基片之间运输，即原子或分子在环境气氛中的飞行过程。（3）蒸发原子或分子在基片表面张得沉积过程。即是蒸发，凝聚，成核，核生长，形成连续的膜。由于基板温度远低于蒸发源温度，因此，气态分子在基片表面将发生直接由气态到固态的相转变过程。真空蒸发镀膜法（简称真空蒸镀）是在真空条件下，加热蒸发容器中待蒸发的材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸汽流，入社到衬底或基底表面，凝结成固态薄膜的方法。真空镀膜机是在真空室中利用电阻加热法。福建热蒸镀设备

真空镀膜机内须进行结构焊接的时候，内部焊缝不应该连续，以便让来自任何沟槽的气体容易放出。陕西蒸镀机系列-FS-G1-3

真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、成品等步骤。(1)基片表面清洁。真空室内壁、基片架等表面的油污、锈迹、残余镀料等在真空中易蒸发，直接影响膜层的纯度和结合力。镀前必须清沽干净。(2)镀前准备。镀膜室抽真空到合适的真空度，对基片和镀膜材料进行预处理。加热基片，其目的是去除水分和增强膜基结合力。在高真空下加热基片，能够使基片的表面吸附的气体脱附。然后经真空泵抽气排出真空室，有利于提高镀膜室真空度、膜层纯度和膜基结合力。然后达到一定真空度后．先对蒸发源通以较低功率的电，进行膜料的预热或者预熔，为防止蒸发到基板上，用挡板遮盖住蒸发源及源物质，然后输入较大功率的电，将镀膜材料迅速加热到蒸发温度，蒸镀时再移开挡板。(3)蒸镀。在蒸镀阶段要选择合适的基片温度、镀料蒸发温度外，沉积气压是一个很重要的参数。沉积气压即镀膜室的真空度高低，决定了蒸镀空间气体分子运动的平均自由程和一定蒸发距离下的蒸气与残余气体原子及蒸气原子之间的碰撞次数。(4)取件。膜层厚度达到要求以后，用挡板盖住蒸发源并停止加热，但不要马上导入空气。陕西蒸镀机系列-FS-G1-3

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